● 最快可在5秒內(nèi)完成一個(gè)FOV區(qū)域的CT成像
● 大尺寸板狀樣品無需破壞,仍可獲得高分辨率
● 可編程掃描工藝,簡化操作人員的工作量
● 專用自動(dòng)識(shí)別算法,定量統(tǒng)計(jì)器件內(nèi)部的缺陷