通常把分辨率能夠達(dá)到微米量級(jí)的CT設(shè)備稱作顯微CT，或者微米CT。

傳統(tǒng)的顯微CT使用平板探測(cè)器，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是通過(guò)幾何投影放大直接成像，主要依靠較小的光源焦斑和較大的幾何放大比實(shí)現(xiàn)高分辨。如下圖所示，是典型的幾何投影放大的原理圖。當(dāng)燈泡樣品距離X射線源較遠(yuǎn)時(shí)（如上圖），燈絲的成像分辨率較低；當(dāng)將樣品靠近X射線源后（如下圖），燈絲的成像分辨率顯著提高，但由于燈泡外殼的存在，燈絲位置無(wú)法再繼續(xù)靠近X射線源，此時(shí)即為幾何投影放大的最高分辨率，可以看到，幾何投影放大在較大工作距離下無(wú)法得到高分辨率成像，也可理解為對(duì)大尺寸樣品無(wú)法進(jìn)行高分辨成像（工作距離為X射線源到樣品旋轉(zhuǎn)中心的距離）。

幾何投影放大原理示意圖

三英精密獨(dú)特的物鏡耦合技術(shù)，基于光學(xué)二級(jí)放大進(jìn)行成像（如下圖所示），系統(tǒng)的放大倍數(shù)是幾何投影放大倍數(shù)與光學(xué)放大倍數(shù)的乘積，可以看到，即使燈泡樣品在距離X射線源較大距離下，依然可以獲得最高的分辨率。實(shí)現(xiàn)了大尺寸樣品和大工作距離下的高分辨率成像。

光學(xué)二級(jí)放大示意圖

下圖為物鏡耦合探測(cè)器的光路圖，穿透樣品的X射線被閃爍體轉(zhuǎn)變?yōu)榭臻g上連續(xù)的可見(jiàn)光，再通過(guò)常規(guī)的顯微成像光路系統(tǒng)將可見(jiàn)光進(jìn)行放大，用CCD相機(jī)采集可見(jiàn)光信號(hào)。

物鏡耦合探測(cè)器光路圖

在實(shí)際的顯微CT設(shè)備中，通常將平板探測(cè)器和物鏡耦合探測(cè)器配合使用，發(fā)揮二者各自的優(yōu)點(diǎn)，提升設(shè)備整體的技術(shù)性能。